株式会社オーク製作所

会社概要

事業内容・特色

　産業用紫外線ランプの製造を祖業とし、創業以来、当社は「光」の専門メーカーとして、多くの産業分野において幅広い貢献をしてまいりました。長年にわたり培ってきた技術力を基に、お客様のニーズにお応えし、信頼される新しい「光」の創造に日夜取り組んでおります。当社では、他社製半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ（FPD）製造装置向けに紫外線ランプを供給する一方、自社製ランプその他の光源を用いたダイレクト（直描）露光装置、半導体用ステッパー露光装置および露光装置技術を発展的に応用したレーザー加工装置を国内外の大手メーカーに販売しております。
【露光装置】
　半導体の高性能化に向けてパッケージ基板サイズの大型化、高多層化、一層の微細化など新たな技術トレンドに応える露光装置の開発が求められる中、NEDO（新エネルギー・産業技術総合開発機構）の「革新的な後工程用露光装置」の開発事業に採択され、先端実装プロセス開発のコンソーシアムであるJoint2にも参画して開発を進めておりました最上位機種のダイレクト（直描）露光装置（SDi）につきましては、直描型として初めて解像性能でサブミクロンの世界を達成したことから引き続く量産機の開発に取り組み、2025年7月、第1弾としてフルパネル量産用SDi装置をリリースいたします。また、パッケージ基板の高多層化、微細化の要求にお応えする回路形成用およびソルダーレジスト用ダイレクト（直描）露光装置の新シリーズや高い生産性と安定稼働でご評価をいただいている半導体用ステッパー露光装置もラインナップしております。
【産業用紫外線ランプ】
　パワー半導体やFPD露光装置向けに高照度・長寿命ランプの開発を進めるとともに、分析機器や半導体工場向け超純水製造装置に使用する光源として無水銀UV光源への置き換えや生活用水の再生処理装置にUV光で生成されるオゾンの活用を提案するなど新たな事業領域への展開も進めております。また当社は、計量法に基づく校正事業者登録制度（JCSS）で国内初となる紫外放射照度計の校正事業者として登録され、幅広い産業分野で利用されている紫外線の測定管理にも貢献しております。