株式会社エリオニクス

会社概要

事業内容・特色

・当社は創業以来、エレクトロン、イオン、X線応用装置の開発・製造・販売を行っております。
・主に、次のような製品を取り扱っております。
〈電子線応用装置〉
・電子ビーム描画装置；ナノメータオーダの研究開発用途から微細加工を行う多品種少量生産用途まで対応できる装置です。
・電子線ディスクマスタリング装置；次世代のハードディスク原版を作る装置です。
・三次元粗さ解析走査電子顕微鏡；電子線による三次元測定、観察ができます。
〈イオン応用装置〉
・ECRイオンシャワー装置；エッチングやスパッタリングによる成膜ができます。
〈X線応用装置〉
・三次元X線分析装置；三次元形状測定とエネルギー分散型X線分析が同時にできます。
〈その他の装置〉
・超微小押込み硬さ試験機；超軽荷重での測定によりあらゆる素材の硬度測定と物性評価ができます。
・表面力測定装置；表面力を再現性よく短時間で測定できます。
・超微細領域を加工・計測・分析する当社の装置は、大学・公の研究所をはじめ民間企業の研究所・開発部署で、また本格化するナノテク事業用生産機としてご利用いただいております。
・物理系技術者・機械系技術者・電気系技術者・コンピュータ技術者による総合的な技術と豊富なノウハウのもとで、真に役立つ装置の開発にチャレンジし、皆様のよきパートナーとなることを目標に進んでまいります。

主要取引先

国内：東京大学／大阪大学／(独)産業技術総合研究所／(独)物質・材料研究機構／海外：ハーバード大学(アメリカ)／マサチューセッツ工科大学(アメリカ)／ロンドン大学(ヨーロッパ)／北京大学(中国)／清華大学(中国)／その他主要大学・公的研究機関・メーカーなど